在半导体工业中,纯水的质量和数量对生产过程中的水质要求非常严格。一般来说,半导体工业纯水制取主要采用反渗透工艺和去离子两种技术。
反渗透工艺是一种常用的水处理技术,其原理是利用半透膜,将水分子和离子分开。在反渗透过程中,水分子可以通过半透膜,而离子则不能。因此,通过反渗透工艺被广泛用于制备高纯水。
去离子则是另一种常用的水处理技术,其原理是利用离子交换树脂,将水中的离子去除。在去离子的过程中,离子交换树脂可以将水中的离子吸附并将其去除,从而获得纯净的水。在半导体工业中,去离子技术主要用于制备超纯水。