由于超纯水设备的工艺是根据不同的入水水质和出水要求而设计的，针对不同的原水水质特点而设计超纯水设备方案才是经济有效的方案，同时也是出水水质长期稳定达到要求的保证。超纯水设备由于用途不一样，会有不同的制造流程，或有的把几种工艺结合起来让水质达到预期的效果，按类别可大致分为以下几种，比较常用的预处理系统、反渗透系统、EDI电除盐超纯水系统、精处理系统等。