解决超纯水设备的腐蚀问题，需要从多个方面入手。首先，要选择耐腐蚀的材料。不同的材料对于腐蚀的抵抗能力不同，合理的选择材料以及科学的设计才是防腐的重中之重。其次，充分考虑环境问题而引发腐蚀的各种情况，并着手针对可能会出现的情况进行整改，比如潮湿的空气环境，可用干燥剂等。此外，可以适当的用缓蚀剂来减缓腐蚀的发生，缓蚀剂是一种能够在表面金属形成保护膜的化学物质，可以有效减缓金属材料的腐蚀速度。同时，采用阴极保护，可以采用阴极保护的方法来防止金属腐蚀，其原理是采用外加直流电将整个超纯水设备构造成阴极区以此达到消除腐蚀目的。
