电镀液将用于电镀产品的加工环节,纯水的电导率要求低于15us/cm。电镀超纯水设备生产的纯水主要使用电解电容器生产铝箔和清洁工作部件用水,生产、玻璃外壳清洗、沉淀、混合、薄膜清洗等只有少量用于药液配制集成电路生产中高纯水清洗硅片。
超纯水设备由预处理系统、反渗透系统、中间水箱、纯水泵、混床、紫外线杀菌器、精密过滤器等组成。其水处理工艺分为传统水处理工艺和新的水处理工艺,出水水质电导率>18MΩ.CM:
目前的工艺流程:
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水点。
制备电镀溶液的纯水和清洗电镀零件的纯水时,纯水应小于15us/cm,清洁时纯水的电导率应小于10us/cm。不同处理过程中使用的水质不同。
纯水设备优势分析:
1、系统中的水箱配备液位控制系统、在线水质检测和控制仪表,水泵配备压力保护装置,无人管理。
2、操作简单、连续性好,EDI装置产水过程稳定、连续,无复杂操作程序。
3、整个水处理过程中不使用化学品,因此没有酸碱再生。