原水选择：原水可以是自来水、普通蒸馏水或普通去离子水。

预处理系统：

原水箱和原水泵用于储存和输送原水。

石英砂过滤器和活性炭过滤器用于去除水中的悬浮物和有机物。

换热器用于调节水温，提高处理效率。

阻垢剂系统用于防止水中的矿物质形成垢。

双级反渗透系统：

包括保安过滤器、RO高压泵和反渗透系统。反渗透膜能够滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。

EDI系统：通过除去电解质（包括弱电解质）的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

抛光树脂：使用无化学析出的核子级树脂去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。

终端超滤：有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物，确保产出的高纯水不受二次污染。

通过上述步骤，可以制备出高纯度的超纯水，满足实验室对水质的高要求。